kpilogo shields

The lithographic evaluation of monomethyl itaconate (MMI) and methyl methacrylate copolymers as thermally crosslinkable electron beam resists is described. Their properties were investigated as a function of copolymer composition and primary molar mass in order to determine an optimum formulation for the preparation of high resolution resist patterns. Line and space test patterns with features ~0.5 pm have been prepared using copolymers containing 10 mol% MM1 with lithographic sensitivity of N 80 PC cm-* and resist contrast of N 4 cm2 PC- ’ when developed in a mixture of n-butyl acetate and n-hexyl acetate. In accordance with previously published results, the electron exposure dose required to first destroy the pre-crosslinked fraction of the resist has been found to be very much less than the electron exposure dose required for the preparation of high resolution resist patterns. The results obtained in this work are compared to a theory of gel degradation originally developed to describe the solubilization of lignin from plant tissue, whereby the breakdown of the gel can be modelled using the statistics for random network formation, except applied in reverse

Посилання на статтю:

New thermally crosslinkable electron beam resists: 2. Monomethyl itaconate-methyl methacrylate copolymers / A. F. Miles and J. M. G. Cowie* // Polymer. – 1992. – Vol 33. – P. 1932-1936.

New thermally crosslinkable electron beam resists: 2. Monomethyl itaconate-methyl methacrylate copolymers - Завантажити.

 

Корисні статті

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).

Інженер-механік

Інженер-механік (від лат. Ingenium – талант, обдарованість, і mēchanicus – механік) – це технічний чи технологічний фахівець з вищою освітою, який застосовує отримані знання для конструювання, проектування, моделювання та експлуатації машин, апаратів та технічного обладнання в різних галузях сільського господарства та технічного виробництва. Першими з інженерів були саме механіки; вони розробляли і збирали різноманітні машини і механізми, в яких використовували принципи і закони механіки.

Хто такий інженер

Інженер - професія нелегка, але одночасно з цим дуже цікава і захоплююча. Адже інженер це людина, у якого народжуються в голові нові ідеї і тому він здатний винаходити.

У багатьох виникає питання: хто такі інженери? Інженер (франц. Ingénieur) - фахівець з вищою технічною освітою. Спочатку інженерами називали людей, які керували військовими машинами. Поняття громадський інженер з'явилося в XVI столітті в Голландії, застосовано до сфери будівництва мостів і доріг, потім інженери з'явилися в Англії, а потім в інших країнах.

ВНЗ України

Вища освіта є невід'ємним елементом перспективного кар'єрного росту, тому перед кожним абітурієнтом виникає проблема, в які інститути подавати документи. Варто відзначити, що в Україні існує велика кількість вузів. Всі навчальні заклади поділяються на державні та приватні, пропонуючи різноманітні освітні програми по різних профілів. Щоб пошук інститутів дав задовільні результати, слід визначитися з найбільш прийнятними спеціальностями. Також підбір університету передбачає вибір підходящої форми навчання, наявність високої акредитації у вузу і рівень його престижності.

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?