kpilogo shields

The lithographic evaluation of monomethyl itaconate (MMI) and methyl methacrylate copolymers as thermally crosslinkable electron beam resists is described. Their properties were investigated as a function of copolymer composition and primary molar mass in order to determine an optimum formulation for the preparation of high resolution resist patterns. Line and space test patterns with features ~0.5 pm have been prepared using copolymers containing 10 mol% MM1 with lithographic sensitivity of N 80 PC cm-* and resist contrast of N 4 cm2 PC- ’ when developed in a mixture of n-butyl acetate and n-hexyl acetate. In accordance with previously published results, the electron exposure dose required to first destroy the pre-crosslinked fraction of the resist has been found to be very much less than the electron exposure dose required for the preparation of high resolution resist patterns. The results obtained in this work are compared to a theory of gel degradation originally developed to describe the solubilization of lignin from plant tissue, whereby the breakdown of the gel can be modelled using the statistics for random network formation, except applied in reverse

Посилання на статтю:

New thermally crosslinkable electron beam resists: 2. Monomethyl itaconate-methyl methacrylate copolymers / A. F. Miles and J. M. G. Cowie* // Polymer. – 1992. – Vol 33. – P. 1932-1936.

New thermally crosslinkable electron beam resists: 2. Monomethyl itaconate-methyl methacrylate copolymers - Завантажити.

 

Корисні статті

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).

Хто такий інженер

Інженер - професія нелегка, але одночасно з цим дуже цікава і захоплююча. Адже інженер це людина, у якого народжуються в голові нові ідеї і тому він здатний винаходити.

У багатьох виникає питання: хто такі інженери? Інженер (франц. Ingénieur) - фахівець з вищою технічною освітою. Спочатку інженерами називали людей, які керували військовими машинами. Поняття громадський інженер з'явилося в XVI столітті в Голландії, застосовано до сфери будівництва мостів і доріг, потім інженери з'явилися в Англії, а потім в інших країнах.

Вибір професії

Кожна людина зіштовхується у своєму житті з вибором, який найсильніше вплине на все її подальше життя. Йдеться про вибір професії та вибір вищої освіти. Закінчуючи школу, молоді люди стикаються з величезним вибором професій та спеціальностей: інженер, економіст, юрист, менеджер, маркетолог, логіст, фінансист і т.д. При цьому навколо можна чути безліч стереотипних фраз: "Юристи багато заробляють", "Фінансисти працюють з грошима, тому у них хороші зарплати", "Маркетолог - основний людина в будь-якому бізнесі", а часом і просто без обґрунтування - "Менеджер - це круто ". Часом, такі "поради" впливають на вибір професії.

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?

Як стати інженером?

Кожна людина в процесі свідомого життя стикається з проблемою вибору професії. Найбільш актуальною ця проблема є для учнів старших класів – випускників, які добровільно або примусово здають шкільні іспити та зовнішнє незалежне оцінювання, за результатами чого приймають участь в конкурсному відборі на навчання у ВНЗ. Щоб обрана професія не стала важким випробовуванням, потрібно ще у шкільні роки зважити всі «за» і «проти», оцінити свої здібності, схильності, можливості.