kpilogo shields

Two new copolymers based on 4-(1-hydroxy-l-methylethyl)styrene and styrene or 4-hydroxystyrene have been designed and prepared for use as ultrahigh resolution resist materials in microlithography. The tertiary benzylic alcohol moieties contained in these eopolymers undergo acid-catalysed dehydration in a process that proceeds via a stabilized carbenium intermediate, leading to the eventual crosslinking of the copolymers. Resist formulations incorporating these copolymers are readily obtained through the use of a photoacid generator such as triphenylsulfonium hexafluoroantimonate. Irradiation of a film of the resist with deep-u.v. light or an electron beam results in the liberation of protons within the exposed areas of the polymer film. Subsequent heating of the exposed film provides the activation energy that is necessary for the dehydration and crosslinking steps to proceed. The design of the new copolymers is such that no swelling of the crosslinked polymers is seen upon solvent development of the resist images as the polarity of the crosslinked areas is changed drastically as a result of the dehydration step. The resists show extremely high sensitivities to both deep-u.v, and electron-beam radiation and are useful as imaging materials.

Посилання на статтю:

Cationic chemistry and chemically amplified resist materials for microlithography: synthesis and applications of copolymers of 4-(1-hydroxy-1-methylethyl)styrene and styrene or 4-hydroxystyrene / Masahiro Yoshida and Jean M. J. Frechet // Polymer. – 1994. – Vol 35. – P. 01/05/2013 01:00:00.

Cationic chemistry and chemically amplified resist materials for microlithography: synthesis and applications of copolymers of 4-(1-hydroxy-1-methylethyl)styrene and styrene or 4-hydroxystyrene - Завантажити.

 

Корисні статті

ВНЗ України

Вища освіта є невід'ємним елементом перспективного кар'єрного росту, тому перед кожним абітурієнтом виникає проблема, в які інститути подавати документи. Варто відзначити, що в Україні існує велика кількість вузів. Всі навчальні заклади поділяються на державні та приватні, пропонуючи різноманітні освітні програми по різних профілів. Щоб пошук інститутів дав задовільні результати, слід визначитися з найбільш прийнятними спеціальностями. Також підбір університету передбачає вибір підходящої форми навчання, наявність високої акредитації у вузу і рівень його престижності.

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).

Хто такий інженер

Інженер - професія нелегка, але одночасно з цим дуже цікава і захоплююча. Адже інженер це людина, у якого народжуються в голові нові ідеї і тому він здатний винаходити.

У багатьох виникає питання: хто такі інженери? Інженер (франц. Ingénieur) - фахівець з вищою технічною освітою. Спочатку інженерами називали людей, які керували військовими машинами. Поняття громадський інженер з'явилося в XVI столітті в Голландії, застосовано до сфери будівництва мостів і доріг, потім інженери з'явилися в Англії, а потім в інших країнах.

Інженер-механік

Інженер-механік (від лат. Ingenium – талант, обдарованість, і mēchanicus – механік) – це технічний чи технологічний фахівець з вищою освітою, який застосовує отримані знання для конструювання, проектування, моделювання та експлуатації машин, апаратів та технічного обладнання в різних галузях сільського господарства та технічного виробництва. Першими з інженерів були саме механіки; вони розробляли і збирали різноманітні машини і механізми, в яких використовували принципи і закони механіки.

Як стати інженером?

Кожна людина в процесі свідомого життя стикається з проблемою вибору професії. Найбільш актуальною ця проблема є для учнів старших класів – випускників, які добровільно або примусово здають шкільні іспити та зовнішнє незалежне оцінювання, за результатами чого приймають участь в конкурсному відборі на навчання у ВНЗ. Щоб обрана професія не стала важким випробовуванням, потрібно ще у шкільні роки зважити всі «за» і «проти», оцінити свої здібності, схильності, можливості.