Synthesizing and processing conducting polythiophene derivatives for charge dissipation in electron-beam lithography

In electron-beam lithography, charging on the photoresist usually causes image distortion and placement error. To dissipate the charge, a conductive polymeric layer can be introduced either over or under the photoresist coating. In this paper, we will discuss the approach of using toluene and xylene-soluble poly(alkylthiophene) in combination with a photoacid generator as a discharge underlayer or interlayer beneath the photoresist to dissipate the accumulated charge during electron-beam exposure. We will also discuss the use of water-soluble acid or ammonium salt forms of polyl-3-(ethanesulfonate)thiophene] as the discharge top layer. During the resist image developing process, the top layer will be removed by aqueous base. Therefore, it is advantageous to use a discharge top layer owing to its simplicity. In this study, the salt and acid forms ofpoly[3-(ethanesulfonate)thiophene] were synthesized through chemical polymerization of the corresponding methanesulfonate ester. They exhibit the same properties as those of electrochemically synthesized polymer reported in the literature.

Посилання на статтю:

Synthesizing and processing conducting polythiophene derivatives for charge dissipation in electron-beam lithography / Wu-Song Huang // Polymer. – 1994. – Vol 35. – P. 4057-4064.

Synthesizing and processing conducting polythiophene derivatives for charge dissipation in electron-beam lithography - Завантажити.

Корисні статті

Інженер-конструктор

Хто такий інженер-конструктор? Даним питанням задаються багато людей, які бажають пов'язати своє життя з цією професією. Варто відзначити, що ця професія однією з найбільш високооплачуваних на сучасному ринку праці, яка характеризується високим попитом з боку роботодавців. Інженер-конструктор машинобудування повинен володіти аналітичним складом розуму, підвищеною уважністю до деталей і відповідальним підходом до роботи. Дана діяльність пов'язана з прорахунками і різноманітним обладнанням. Першокласний інженер-конструктор механік володіє також такими рисами характеру, як раціональність і ерудованість. Важливу роль відіграє стресостійкість, адже робочий процес є досить трудомістким і при потребі замовника вимагає готовності швидко вносити зміни в готові креслення.

Хімічне машинобудування

Хімічне машинобудування багатопрофільна галузь машинобудування, що поєднує в собі природні та експериментальні науки (наприклад, фізика і хімія), разом з науками про життя (наприклад, біологія, мікробіологія та біохімія). Математику та економіку вокористовують для розробки, перетворення, транспортування, управління виробничими процесами, які перетворюють сировину в цінні продукти.

Полімерні матеріали

Полімер це велика молекула, або макромолекула, котра складається з багатьох субодиниць. Через їх широкий спектр властивостей, синтетичні і природні полімери відіграють найважливішу і всюдисущу роль в повсякденному житті. Полімери в діапазоні від знайомих синтетичних пластмас, таких як полістирол природний біополімер, таких як ДНК і білки, які є основоположними для біологічної структури і функцій. Полімери, як природні і синтетичні, створюються за допомогою полімеризації багатьох малих молекул, відомих як мономери.

Комп'ютер для інженера

У сучасному світі комп'ютери дуже поширені. Складно уявити людину, не знайому з цим поняттям. Багато професій зобов'язані своїм виникненням саме комп'ютеру, вони б просто не з'явилися без створення електронно-обчислювальної техніки.

І хоча відносно недавно, на початку XX століття, комп'ютери були розкішшю і використовувалися лише для самих складних розрахунків, у наш час комп'ютери та комп'ютерна техніка дуже глибоко інтегрувалися у наше життя. Сучасне людство залежить від комп'ютерів, що викликає подиву, якщо розглянути, коли і в яких випадках вони використовуються.

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).