kpilogo shields

In electron-beam lithography, charging on the photoresist usually causes image distortion and placement error. To dissipate the charge, a conductive polymeric layer can be introduced either over or under the photoresist coating. In this paper, we will discuss the approach of using toluene and xylene-soluble poly(alkylthiophene) in combination with a photoacid generator as a discharge underlayer or interlayer beneath the photoresist to dissipate the accumulated charge during electron-beam exposure. We will also discuss the use of water-soluble acid or ammonium salt forms of polyl-3-(ethanesulfonate)thiophene] as the discharge top layer. During the resist image developing process, the top layer will be removed by aqueous base. Therefore, it is advantageous to use a discharge top layer owing to its simplicity. In this study, the salt and acid forms ofpoly[3-(ethanesulfonate)thiophene] were synthesized through chemical polymerization of the corresponding methanesulfonate ester. They exhibit the same properties as those of electrochemically synthesized polymer reported in the literature.

Посилання на статтю:

Synthesizing and processing conducting polythiophene derivatives for charge dissipation in electron-beam lithography / Wu-Song Huang // Polymer. – 1994. – Vol 35. – P. 4057-4064.

Synthesizing and processing conducting polythiophene derivatives for charge dissipation in electron-beam lithography - Завантажити.

 

Корисні статті

Вибір професії

Кожна людина зіштовхується у своєму житті з вибором, який найсильніше вплине на все її подальше життя. Йдеться про вибір професії та вибір вищої освіти. Закінчуючи школу, молоді люди стикаються з величезним вибором професій та спеціальностей: інженер, економіст, юрист, менеджер, маркетолог, логіст, фінансист і т.д. При цьому навколо можна чути безліч стереотипних фраз: "Юристи багато заробляють", "Фінансисти працюють з грошима, тому у них хороші зарплати", "Маркетолог - основний людина в будь-якому бізнесі", а часом і просто без обґрунтування - "Менеджер - це круто ". Часом, такі "поради" впливають на вибір професії.

Рейтинг вищих навчальних закладів

На даний час в світі існує маса університетів з дуже великою кількістю кваліфікацій, спеціальностей та спеціалізацій. Одні з них більш престижні університети, інші менш.

Рейтинг вищих навчальних закладів переписується щорічно, в зв'язку з тим, що всі прагнуть стати краще в освіті, вдосконалитися в технологіях і підвищити свій рівень акредитації. Рейтинг навчальних закладів варіюється в залежності від предметної області, це природничі науки і математика, техніка/технологія і інформатика, життя і сільськогосподарська наука, клінічна медицина і фармація, соціальні науки.

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).

Полімерні матеріали

Полімер це велика молекула, або макромолекула, котра складається з багатьох субодиниць. Через їх широкий спектр властивостей, синтетичні і природні полімери відіграють найважливішу і всюдисущу роль в повсякденному житті. Полімери в діапазоні від знайомих синтетичних пластмас, таких як полістирол природний біополімер, таких як ДНК і білки, які є основоположними для біологічної структури і функцій. Полімери, як природні і синтетичні, створюються за допомогою полімеризації багатьох малих молекул, відомих як мономери.

Хто такий інженер

Інженер - професія нелегка, але одночасно з цим дуже цікава і захоплююча. Адже інженер це людина, у якого народжуються в голові нові ідеї і тому він здатний винаходити.

У багатьох виникає питання: хто такі інженери? Інженер (франц. Ingénieur) - фахівець з вищою технічною освітою. Спочатку інженерами називали людей, які керували військовими машинами. Поняття громадський інженер з'явилося в XVI столітті в Голландії, застосовано до сфери будівництва мостів і доріг, потім інженери з'явилися в Англії, а потім в інших країнах.