kpilogo shields

Copolymers containing 3-hydroxycyclohexyl methacrylate (HCMA) were synthesized as a base polymer for At-F excimer law lithography. The dry-etching rates of these polymers for CF4 CHF3 mixed gas were 1.1-1.2 times that of a novolac-based resist. The aclhcsion properties of the polymers were also studied by estimating the work of adhesion. When the content of the HCMA unit in the polymer cucccds 60 mol%, the work of adhesion of the resist is similar to those of polyvinylphenol (PVP)-based photoresists. A 0.19 pm pattern protile was obtained using a resist based on the terpolymer containing HCMA and the conventional developer, 2.38 wt% tetrarnethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution.

Посилання на статтю:

Synthesis of copolymers containing 3-hydroxycyclohexyl methacrylate and their application as ArF excimer laser resists / Jin-Baek Kim, Jae-Young Kim, Min-Ho Jung // Polymer. – 1999. – N 40. – P. 273–276.

Synthesis of copolymers containing 3-hydroxycyclohexyl methacrylate and their application as ArF excimer laser resists - Завантажити.

 

Корисні статті

Хто такий інженер

Інженер - професія нелегка, але одночасно з цим дуже цікава і захоплююча. Адже інженер це людина, у якого народжуються в голові нові ідеї і тому він здатний винаходити.

У багатьох виникає питання: хто такі інженери? Інженер (франц. Ingénieur) - фахівець з вищою технічною освітою. Спочатку інженерами називали людей, які керували військовими машинами. Поняття громадський інженер з'явилося в XVI столітті в Голландії, застосовано до сфери будівництва мостів і доріг, потім інженери з'явилися в Англії, а потім в інших країнах.

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?

Вибір професії

Кожна людина зіштовхується у своєму житті з вибором, який найсильніше вплине на все її подальше життя. Йдеться про вибір професії та вибір вищої освіти. Закінчуючи школу, молоді люди стикаються з величезним вибором професій та спеціальностей: інженер, економіст, юрист, менеджер, маркетолог, логіст, фінансист і т.д. При цьому навколо можна чути безліч стереотипних фраз: "Юристи багато заробляють", "Фінансисти працюють з грошима, тому у них хороші зарплати", "Маркетолог - основний людина в будь-якому бізнесі", а часом і просто без обґрунтування - "Менеджер - це круто ". Часом, такі "поради" впливають на вибір професії.

Полімерні матеріали

Полімер це велика молекула, або макромолекула, котра складається з багатьох субодиниць. Через їх широкий спектр властивостей, синтетичні і природні полімери відіграють найважливішу і всюдисущу роль в повсякденному житті. Полімери в діапазоні від знайомих синтетичних пластмас, таких як полістирол природний біополімер, таких як ДНК і білки, які є основоположними для біологічної структури і функцій. Полімери, як природні і синтетичні, створюються за допомогою полімеризації багатьох малих молекул, відомих як мономери.