kpilogo shields

Poly(2-trimethylsilyl-2-propyl methacrylate-co- g -butyrolactone-2-yl methacrylate) was synthesized and evaluated as a chemically amplified resist for ArF lithography. The polymer has excellent transmittance at 248 nm and also has a good transmittance at 193 nm. In addition, the polymer possesses good thermal stability up to 2008C, whereas in the presence of an acid the cleavage of the 2-trimethylsilyl-2-propyl ester group begins at about 808C in a catalytic manner. Patterns of 0.24 mm line/space were obtained with a conventional developer, 2.38 wt.% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution, using an ArF excimer laser exposure system.

Посилання на статтю:

Polymer Communication Poly(2-trimethylsilyl-2-propyl methacrylate-co- g -butyrolactone-2-yl methacrylate) for ArF lithography / J.-B. Kim, H. Kim, S.-H. Lee, J.-T. Moon // Polymer. – 1999. – N 40. – P. 5213–5217.

Polymer Communication Poly(2-trimethylsilyl-2-propyl methacrylate-co- g -butyrolactone-2-yl methacrylate) for ArF lithography - Завантажити.

 

Корисні статті

Як стати інженером?

Кожна людина в процесі свідомого життя стикається з проблемою вибору професії. Найбільш актуальною ця проблема є для учнів старших класів – випускників, які добровільно або примусово здають шкільні іспити та зовнішнє незалежне оцінювання, за результатами чого приймають участь в конкурсному відборі на навчання у ВНЗ. Щоб обрана професія не стала важким випробовуванням, потрібно ще у шкільні роки зважити всі «за» і «проти», оцінити свої здібності, схильності, можливості.

Комп'ютер для інженера

У сучасному світі комп'ютери дуже поширені. Складно уявити людину, не знайому з цим поняттям. Багато професій зобов'язані своїм виникненням саме комп'ютеру, вони б просто не з'явилися без створення електронно-обчислювальної техніки.

І хоча відносно недавно, на початку XX століття, комп'ютери були розкішшю і використовувалися лише для самих складних розрахунків, у наш час комп'ютери та комп'ютерна техніка дуже глибоко інтегрувалися у наше життя. Сучасне людство залежить від комп'ютерів, що викликає подиву, якщо розглянути, коли і в яких випадках вони використовуються.

Хто такий інженер

Інженер - професія нелегка, але одночасно з цим дуже цікава і захоплююча. Адже інженер це людина, у якого народжуються в голові нові ідеї і тому він здатний винаходити.

У багатьох виникає питання: хто такі інженери? Інженер (франц. Ingénieur) - фахівець з вищою технічною освітою. Спочатку інженерами називали людей, які керували військовими машинами. Поняття громадський інженер з'явилося в XVI столітті в Голландії, застосовано до сфери будівництва мостів і доріг, потім інженери з'явилися в Англії, а потім в інших країнах.

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?

Що таке КПІ?

На сьогоднішній день багатьох випускників, ще недавно – школярів, цікавить наступне питання – куди поступити, куди піти навчатися? В нашій країні є дуже багато ВНЗ, які пропонують свої послуги з підготовки і навчання студентів. Одним з таких ВНЗ є Київський політехнічний інститут (КПІ).