kpilogo shields

A copolymer of t-butyl-3a-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7a,12a-dihydroxy-5b-cholan-24-oate and maleic anhydride was synthesized as a matrix polymer for ArF excimer laser lithography. The polymer has an excellent transmittance at 193 nm and possesses good thermal stability up to 2558C. The resist formulated with the polymer showed better dry-etching resistance than the conventional KrF excimer laser resist for chlorine and oxygen mixed gas. A 0.15 mm line and space patterns were obtained at a dose of 18 mJ cm 22 using an ArF excimer laser stepper.

Посилання на статтю:

Polymer Communication Poly(t-butyl-3a-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7a,12a-dihydroxy-5bcholan-24-oate-co-maleic anhydride) for a 193-nm photoresist / Jin-Baek Kim, Bum-Wook Lee, Jae-Sung Kang, Dong-Chul Seo, Chi-Hyung Roh // Polymer. – 1999. – N 40. – P. 7423–7426.

Polymer Communication Poly(t-butyl-3a-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7a,12a-dihydroxy-5bcholan-24-oate-co-maleic anhydride) for a 193-nm photoresist - Завантажити.

 

Корисні статті

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?

Хімічне машинобудування

Хімічне машинобудування багатопрофільна галузь машинобудування, що поєднує в собі природні та експериментальні науки (наприклад, фізика і хімія), разом з науками про життя (наприклад, біологія, мікробіологія та біохімія). Математику та економіку вокористовують для розробки, перетворення, транспортування, управління виробничими процесами, які перетворюють сировину в цінні продукти.

Інженер-механік

Інженер-механік (від лат. Ingenium – талант, обдарованість, і mēchanicus – механік) – це технічний чи технологічний фахівець з вищою освітою, який застосовує отримані знання для конструювання, проектування, моделювання та експлуатації машин, апаратів та технічного обладнання в різних галузях сільського господарства та технічного виробництва. Першими з інженерів були саме механіки; вони розробляли і збирали різноманітні машини і механізми, в яких використовували принципи і закони механіки.

Комп'ютер для інженера

У сучасному світі комп'ютери дуже поширені. Складно уявити людину, не знайому з цим поняттям. Багато професій зобов'язані своїм виникненням саме комп'ютеру, вони б просто не з'явилися без створення електронно-обчислювальної техніки.

І хоча відносно недавно, на початку XX століття, комп'ютери були розкішшю і використовувалися лише для самих складних розрахунків, у наш час комп'ютери та комп'ютерна техніка дуже глибоко інтегрувалися у наше життя. Сучасне людство залежить від комп'ютерів, що викликає подиву, якщо розглянути, коли і в яких випадках вони використовуються.

Полімерні матеріали

Полімер це велика молекула, або макромолекула, котра складається з багатьох субодиниць. Через їх широкий спектр властивостей, синтетичні і природні полімери відіграють найважливішу і всюдисущу роль в повсякденному житті. Полімери в діапазоні від знайомих синтетичних пластмас, таких як полістирол природний біополімер, таких як ДНК і білки, які є основоположними для біологічної структури і функцій. Полімери, як природні і синтетичні, створюються за допомогою полімеризації багатьох малих молекул, відомих як мономери.