kpilogo shields

A new chemically amplified resist containing a basic monomer, 3-(t-butoxycarbonyl)-1-vinylcaprolactam, in the matrix polymer was prepared for post-exposure delay stability. Poly(3-(t-butoxycarbonyl)-1-vinylcaprolactam-co-t-butyl methacrylate) was synthesized and evaluated as a new matrix resin. The diffusion lengths of photogenerated acid in the resist films were studied for various fractions of the basic monomer in the copolymers. The results show the copolymer with a basic monomer can control the acid diffusion without a severe decrease in sensitivity. This new resist system enables us to form fine patterns and attain 2 h post-exposure delay stability without any additional treatment.

Посилання на статтю:

Polymer Communication Acid diffusion control in chemically amplified resists / Jin-Baek Kim, Jae-Hak Choi, Young-Gil Kwon, Min-Ho Jung, Kyeong-Ho Chang // Polymer. – 1999. – N 40. – P. 1087–1089.

Polymer Communication Acid diffusion control in chemically amplified resists - Завантажити.

 

Корисні статті

Як стати інженером?

Кожна людина в процесі свідомого життя стикається з проблемою вибору професії. Найбільш актуальною ця проблема є для учнів старших класів – випускників, які добровільно або примусово здають шкільні іспити та зовнішнє незалежне оцінювання, за результатами чого приймають участь в конкурсному відборі на навчання у ВНЗ. Щоб обрана професія не стала важким випробовуванням, потрібно ще у шкільні роки зважити всі «за» і «проти», оцінити свої здібності, схильності, можливості.

Інженер-конструктор

Хто такий інженер-конструктор? Даним питанням задаються багато людей, які бажають пов'язати своє життя з цією професією. Варто відзначити, що ця професія однією з найбільш високооплачуваних на сучасному ринку праці, яка характеризується високим попитом з боку роботодавців. Інженер-конструктор машинобудування повинен володіти аналітичним складом розуму, підвищеною уважністю до деталей і відповідальним підходом до роботи. Дана діяльність пов'язана з прорахунками і різноманітним обладнанням. Першокласний інженер-конструктор механік володіє також такими рисами характеру, як раціональність і ерудованість. Важливу роль відіграє стресостійкість, адже робочий процес є досить трудомістким і при потребі замовника вимагає готовності швидко вносити зміни в готові креслення.

Полімерні матеріали

Полімер це велика молекула, або макромолекула, котра складається з багатьох субодиниць. Через їх широкий спектр властивостей, синтетичні і природні полімери відіграють найважливішу і всюдисущу роль в повсякденному житті. Полімери в діапазоні від знайомих синтетичних пластмас, таких як полістирол природний біополімер, таких як ДНК і білки, які є основоположними для біологічної структури і функцій. Полімери, як природні і синтетичні, створюються за допомогою полімеризації багатьох малих молекул, відомих як мономери.

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?

Рейтинг вищих навчальних закладів

На даний час в світі існує маса університетів з дуже великою кількістю кваліфікацій, спеціальностей та спеціалізацій. Одні з них більш престижні університети, інші менш.

Рейтинг вищих навчальних закладів переписується щорічно, в зв'язку з тим, що всі прагнуть стати краще в освіті, вдосконалитися в технологіях і підвищити свій рівень акредитації. Рейтинг навчальних закладів варіюється в залежності від предметної області, це природничі науки і математика, техніка/технологія і інформатика, життя і сільськогосподарська наука, клінічна медицина і фармація, соціальні науки.