kpilogo shields

A new chemically amplified resist containing a basic monomer, 3-(t-butoxycarbonyl)-1-vinylcaprolactam, in the matrix polymer was prepared for post-exposure delay stability. Poly(3-(t-butoxycarbonyl)-1-vinylcaprolactam-co-t-butyl methacrylate) was synthesized and evaluated as a new matrix resin. The diffusion lengths of photogenerated acid in the resist films were studied for various fractions of the basic monomer in the copolymers. The results show the copolymer with a basic monomer can control the acid diffusion without a severe decrease in sensitivity. This new resist system enables us to form fine patterns and attain 2 h post-exposure delay stability without any additional treatment.

Посилання на статтю:

Polymer Communication Acid diffusion control in chemically amplified resists / Jin-Baek Kim, Jae-Hak Choi, Young-Gil Kwon, Min-Ho Jung, Kyeong-Ho Chang // Polymer. – 1999. – N 40. – P. 1087–1089.

Polymer Communication Acid diffusion control in chemically amplified resists - Завантажити.

 

Корисні статті

Види та функції сучасної упаковки

Різноманітна упаковка щільно увішла у життя кожної людини. На полицях магазинів, в інтер'єрах помешкань можна побачити десятки пляшочок, коробок, аерозольних болончиків. Термін існування упаковки в нашому житті може продовжуватися від кількох хвилин до кількох років. Що ж таке сучасна упаковка? Чому вона займає стільки місця в нашому житті?

Комп'ютер для інженера

У сучасному світі комп'ютери дуже поширені. Складно уявити людину, не знайому з цим поняттям. Багато професій зобов'язані своїм виникненням саме комп'ютеру, вони б просто не з'явилися без створення електронно-обчислювальної техніки.

І хоча відносно недавно, на початку XX століття, комп'ютери були розкішшю і використовувалися лише для самих складних розрахунків, у наш час комп'ютери та комп'ютерна техніка дуже глибоко інтегрувалися у наше життя. Сучасне людство залежить від комп'ютерів, що викликає подиву, якщо розглянути, коли і в яких випадках вони використовуються.

Рейтинг вищих навчальних закладів

На даний час в світі існує маса університетів з дуже великою кількістю кваліфікацій, спеціальностей та спеціалізацій. Одні з них більш престижні університети, інші менш.

Рейтинг вищих навчальних закладів переписується щорічно, в зв'язку з тим, що всі прагнуть стати краще в освіті, вдосконалитися в технологіях і підвищити свій рівень акредитації. Рейтинг навчальних закладів варіюється в залежності від предметної області, це природничі науки і математика, техніка/технологія і інформатика, життя і сільськогосподарська наука, клінічна медицина і фармація, соціальні науки.

ВНЗ України

Вища освіта є невід'ємним елементом перспективного кар'єрного росту, тому перед кожним абітурієнтом виникає проблема, в які інститути подавати документи. Варто відзначити, що в Україні існує велика кількість вузів. Всі навчальні заклади поділяються на державні та приватні, пропонуючи різноманітні освітні програми по різних профілів. Щоб пошук інститутів дав задовільні результати, слід визначитися з найбільш прийнятними спеціальностями. Також підбір університету передбачає вибір підходящої форми навчання, наявність високої акредитації у вузу і рівень його престижності.

Полімерні матеріали

Полімер це велика молекула, або макромолекула, котра складається з багатьох субодиниць. Через їх широкий спектр властивостей, синтетичні і природні полімери відіграють найважливішу і всюдисущу роль в повсякденному житті. Полімери в діапазоні від знайомих синтетичних пластмас, таких як полістирол природний біополімер, таких як ДНК і білки, які є основоположними для біологічної структури і функцій. Полімери, як природні і синтетичні, створюються за допомогою полімеризації багатьох малих молекул, відомих як мономери.